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離子注入是半導(dǎo)體器件/集成電路生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝，通過(guò)將摻雜元素注入半導(dǎo)體晶片改變其導(dǎo)電特性，形成所需結(jié)構(gòu)，是多方面優(yōu)于傳統(tǒng)擴(kuò)散的摻雜工藝。